El entorno de producción para dispositivos semiconductores es extremadamente sensible a la presencia de contaminantes. Incluso pequeñas cantidades de contaminantes gaseosos o particulados pueden reducir la calidad del producto. Por lo tanto, los requisitos de limpieza en la fabricación de dispositivos semiconductores son mucho mayores que en otras industrias. A lo largo de todo el proceso de fabricación de chips y dispositivos semiconductores, el control de la contaminación ambiental es crucial. La limpieza del aire en los procesos clave debe cumplir con la norma ISO Clase 1, con concentraciones de contaminantes moleculares gaseosos (AMC) inferiores a una parte por mil millones. Un entorno de proceso deficiente puede provocar una reducción significativa en el rendimiento del producto. El aire común contiene una gran cantidad de contaminantes particulados, como micropartículas y polvo, así como contaminantes gaseosos como dióxido de azufre, óxidos de nitrógeno y amoníaco. Solo después de un tratamiento puede entrar en un sistema de tratamiento de aire. sala blanca. Debido a que las salas blancas utilizadas para la producción de semiconductores y otros dispositivos microelectrónicos deben mantener niveles de limpieza estándar las 24 horas del día, los 7 días de la semana, el sistema de aire acondicionado de la sala blanca (incluido el sistema de extracción), sus fuentes de calor y frío asociadas y los sistemas de suministro correspondientes deben funcionar las 24 horas del día, lo que es significativamente diferente de otros sistemas de aire acondicionado convencionales. Como fuente de alimentación, el ventilador consume la mayor parte de su energía debido a la resistencia combinada de sus componentes. Además, filtro de aireLa resistencia representa aproximadamente el 50 % de la altura total del ventilador. Por lo tanto, reducir el consumo energético de los filtros de aire acondicionado es crucial para disminuir el consumo energético y las emisiones de carbono de los edificios. Desde la perspectiva de mejorar la eficiencia energética y reducir el consumo de energía, es fundamental optimizar el rendimiento de los filtros de aire sin comprometer los requisitos de filtración. El consumo energético del filtro está directamente determinado por la resistencia media y se relaciona con la resistencia inicial y la capacidad de retención de polvo. Reducir la resistencia inicial, aumentar la capacidad de retención de polvo y minimizar el incremento de la resistencia durante la retención de polvo son maneras eficaces de reducir el consumo energético, lo que disminuye los costes energéticos para los clientes y contribuye a la protección del medio ambiente.
Los filtros de aire son purificadores de aire basados en filtración. filtro HEPA A menudo oímos hablar de lo que representa Filtro de aire de partículas de alta eficiencia. Analicemos los cinco principios básicos de la filtración de aire para ayudarle a comprender su lógica subyacente. 1. Efecto de intercepción: Las fibras de un filtro están dispuestas de forma compleja. Cuando las partículas de polvo en suspensión entran en contacto con la superficie de las fibras del filtro, quedan atrapadas directamente si se encuentran lo suficientemente cerca del material filtrante. Este fenómeno es especialmente evidente en materiales filtrantes densos, como la estructura de malla tridimensional formada por fibras ultrafinas en el tejido meltblown para mascarillas, que puede retener firmemente los aerosoles virales dentro de los espacios entre las fibras. 2. Efecto inercial: La compleja disposición de las fibras filtrantes en un filtro de aire provoca que el flujo de aire encuentre obstáculos y se desvíe al pasar a través del material filtrante. Las partículas de polvo en el aire, bajo la influencia de las fuerzas de inercia, se desprenden de la corriente y chocan con la superficie de las fibras filtrantes, depositándose allí. Cuanto mayor sea la partícula, mayor será la fuerza de inercia, mayor la probabilidad de que sea bloqueada por las fibras filtrantes y mejor la eficiencia de filtración. 3. Efecto de difusión: El efecto de difusión afecta a las partículas ultrafinas menores de 0,1 micrómetros. Estas partículas se mueven principalmente por movimiento browniano, con una trayectoria desordenada, lo que aumenta significativamente la probabilidad de contacto con las fibras del filtro; cuanto menor es la partícula, más fácil es eliminarla. 4. Efecto de la gravedad: Cuando la velocidad del flujo de aire es menor que la velocidad de sedimentación de las partículas, las partículas de mayor tamaño se sedimentan naturalmente por gravedad. Las torres de tratamiento de gases de combustión en las centrales térmicas amplían el espacio y reducen la velocidad del flujo, lo que permite que el polvo caiga en la tolva de recogida como la arena que se deposita en el fondo del agua. Este mecanismo es económico y eficiente para tratar altas concentraciones de polvo, pero su efecto sobre las partículas en suspensión es limitado, por lo que generalmente se utiliza como método de pretratamiento. 5. Efecto electrostático: La tecnología de electreto electrostático carga las fibras, lo que confiere al material filtrante la capacidad de capturar activamente partículas con cargas opuestas, de forma similar a como un imán atrae las limaduras de hierro. Este mecanismo es especialmente eficaz para las partículas cargadas en PM2.5, y los equipos industriales de eliminación de polvo realizan un tratamiento de electreto en la superficie del filtro.
Las salas blancas imponen requisitos estrictos a los sistemas de ventilación. Deben proporcionar suficiente flujo de aire y presión, a la vez que controlan con precisión la temperatura y la humedad, garantizando así una calidad del aire constante. Estos requisitos se aplican a diversos patrones de flujo de aire y tamaños de sala. Muchos procesos de producción exigen condiciones de sala limpia, ya que estas, e incluso las ultralimpias, garantizan la calidad ambiental de los productos durante la rigurosa fabricación. Incluso las impurezas más pequeñas en el aire pueden afectar negativamente a los procesos de producción, generando altas tasas de desperdicio. Por ejemplo, los entornos de producción en campos como la óptica y el láser, la industria aeroespacial, las biociencias, la investigación y el tratamiento médico, la producción alimentaria y farmacéutica, y la nanotecnología requieren un suministro de aire prácticamente libre de polvo y bacterias. Sin embargo, el aire acondicionado y sistemas de ventilación en salas blancas Consumen cantidades significativas de energía debido a las altas tasas de intercambio de aire, lo que hace que la eficiencia energética y los costos sean cruciales. Por lo tanto, además de cumplir con los requisitos de rendimiento aerodinámico, los ventiladores también deben cumplir estándares clave como tamaño compacto, bajo nivel de ruido, uso de materiales compatibles con salas blancas, capacidades de control adecuadas, conectividad en red y funcionamiento energéticamente eficiente. Las unidades de ventilación de flujo libre (FFU) están diseñadas específicamente para satisfacer estas necesidades. Mejoran eficazmente la ventilación en salas blancas, garantizando la estabilidad del entorno de producción y la calidad del producto. Un FFU es un dispositivo que combina inteligentemente un sistema de filtración con un ventilador. Presenta un diseño de montaje en techo, es compacto y eficiente, y requiere un espacio de instalación mínimo. El FFU contiene prefiltros y filtros de alta eficiencia. El aire es aspirado desde la parte superior por el ventilador, se filtra finamente y luego se distribuye uniformemente a una velocidad de 0,45 m/s ± 20 %. Las FFU desempeñan un papel crucial en salas blancas, bancos de trabajo limpios, líneas de producción limpias, salas blancas modulares y entornos localizados de Clase 100. Estas aplicaciones abarcan la fabricación de semiconductores, electrónica, pantallas planas y unidades de disco, así como la óptica, la biomedicina y la fabricación de precisión, industrias con estrictos requisitos de control de la contaminación atmosférica. La flexibilidad y facilidad de uso del FFU: Su diseño modular y autoalimentado facilita la sustitución, instalación y reubicación. Sus filtros compatibles son fáciles de sustituir, no están limitados por la ubicación y son ideales para las necesidades de control por zonas de las salas blancas. El FFU se puede sustituir o trasladar fácilmente para adaptarse a diferentes entornos limpios según sea necesario. Además, el FFU permite crear fácilmente bancos de limpieza, cabinas de limpieza, armarios de paso y armarios de almacenamiento limpios para satisfacer diversas necesidades de limpieza. Su instalación en el techo, especialmente en salas blancas de gran tamaño, reduce significativamente los costes de construcción. Tecnología de ventilación de presión negativa: El exclusivo diseño de ventilación de presión negativa de la unidad de filtro con ventilador FFU permite lograr fácilmente una limpieza de alto nivel en diversos entornos. Su sistema de autoalimentación mantiene una presión positiva dentro de la sala blanca, lo que previene eficazmente la infiltración de partículas externas y garantiza un sellado seguro y práctico. Funcionamiento silencioso: El Unidad de filtro de ventilador FFU Ofrece un excelente funcionamiento silencioso, manteniendo un nivel de ruido bajo incluso durante un uso prolongado. Su vibración es muy baja, lo que garantiza una regulación suave y continua de la velocidad y una distribución uniforme del flujo de aire, proporcionando un soporte estable para un ambiente limpio. Unidades de suministro de aire para salas blancas * Construcción rápida: al utilizar la tecnología FFU, no es necesario fabricar ni instalar conductos, lo que acorta significativamente el ciclo de construcción. * Costos operativos reducidos: Suministrar aire limpio a salas blancas con tecnología FFU no solo es económico, sino también notablemente eficiente energéticamente. Si bien la inversión inicial en FFU puede ser ligeramente superior a la de la ventilación por conductos, su funcionamiento sin mantenimiento a largo plazo reduce significativamente los costos operativos generales. * Ahorro de espacio: en comparación con otros sistemas, los sistemas FFU ocupan menos altura del piso dentro de la cámara de distribución y prácticamente no ocupan espacio dentro de la sala limpia. * Amplia aplicabilidad: Los sistemas FFU se adaptan a salas blancas y microambientes de diversos tamaños y requisitos de limpieza, proporcionando aire limpio de alta calidad. Durante la construcción o renovación de salas blancas, no solo mejoran la limpieza, sino que también reducen eficazmente el ruido y las vibraciones. Aplicaciones del sistema FFU en talleres de obleas de semiconductores: Los sistemas FFU se utilizan ampliamente en salas blancas que requieren niveles de purificación de aire ISO 1-4, desempeñando un papel crucial, especialmente en las operaciones de flujo laminar vertical de los talleres de obleas de semiconductores. En la entreplanta técnica, el aire se suministra eficientemente a la capa de producción limpia mediante FFU. Este flujo de aire pasa a través de pisos elevados y aberturas de losas reticulares, llegando a la entreplanta técnica inferior limpia. Finalmente, tras ser procesado por DCC (serpentines de enfriamiento seco) en el conducto de aire de retorno, el aire regresa a la entreplanta técnica superior, formando un ciclo. Este diseño facilita eficazmente el estricto control del taller de fabricación de obleas sobre el entorno de producción, incluyendo la temperatura, la humedad, la limpieza y la amortiguación de vibraciones. Además, la aplicación de sistemas FFU en laboratorios biológicos también es significativa. Cuando el personal de laboratorio manipula microorganismos patógenos, materiales experimentales que contienen microorganismos patógenos o parásitos, los sistemas FFU imponen requisitos especiales en el diseño y la construcción del laboratorio para garantizar la seguridad experimental y un entorno libre de contaminación. Los sistemas actuales de purificación de laboratorio suelen constar de varias partes, incluyendo una capa de presión estática, una capa de proceso, una capa auxiliar de proceso y un conducto de aire de retorno. Este sistema se basa principalmente en una unidad de flujo de aire (FFU) para procesar el aire. Su principio de funcionamiento es el siguiente: la FFU proporciona la potencia de circulación necesaria, mezclando aire fresco con aire recirculado, que se suministra a las capas de proceso y auxiliar de proceso tras pasar por filtros de ultraalta eficiencia. Al mismo tiempo, al mantener una presión negativa entre la capa de presión estática y la capa de proceso, se previene eficazmente la fuga de sustancias nocivas, garantizando así la limpieza y la seguridad del entorno del laboratorio.
El avance en la tecnología de cultivo de tejidos del árbol del caucho está impulsando la modernización de la agricultura moderna. La innovadora tecnología del Instituto de Investigación del Caucho de la Academia China de Ciencias Agrícolas Tropicales, mediante la embriogénesis somática y la propagación por esquejes, ha logrado una propagación eficiente y la mejora de la calidad de las plántulas de caucho, revitalizando la industria del cultivo de tejidos vegetales. Sin embargo, el cultivo de tejidos vegetales exige un entorno de crecimiento extremadamente exigente, lo que requiere condiciones de laboratorio de alta limpieza para garantizar un crecimiento estéril. Los equipos tradicionales de purificación de aire a menudo no cumplen con los estrictos requisitos de control de partículas y microbios, lo que aumenta el riesgo de contaminación y afecta la tasa de supervivencia y la calidad de las plántulas cultivadas en tejidos. Por lo tanto, la modernización de los equipos de purificación de aire se ha vuelto crucial para el desarrollo de la tecnología de cultivo de tejidos. Con 20 años de experiencia en tecnología de purificación de aire, KLC, con su tecnología innovadora y diseño profesional, ofrece un soporte integral para un entorno limpio en el cultivo de tejidos de árboles de caucho. Juntos, han desarrollado un sistema de purificación de aire eficiente, inteligente y de fácil mantenimiento, que proporciona una sólida protección para el entorno de crecimiento de los cultivos de tejidos vegetales. Purificación de área amplia, asegurando un crecimiento estérilFiltros de aire HEPA de KLCGracias a su excelente rendimiento de filtración, la pureza del aire del laboratorio de cultivo de tejidos alcanza estándares de eficiencia ultraalta. Su alta eficiencia de filtración garantiza que las plántulas cultivadas en tejidos crezcan en condiciones estériles, reduciendo así el riesgo de contaminación. La purificación continua del aire cubre todo el espacio, logrando una purificación uniforme y proporcionando un soporte estable para todas las áreas del laboratorio, garantizando un funcionamiento sin contaminación durante todo el proceso y garantizando el funcionamiento continuo y estable de una amplia área limpia. Protección contra la lluvia de aire, bloqueando la invasión de contaminaciónLas ventanas de paso con ducha de aire del KLC se utilizan para la transferencia de material, garantizando que los materiales se rieguen antes de entrar al laboratorio para eliminar los contaminantes superficiales. Esto evita eficazmente que los contaminantes externos entren al laboratorio a través de los materiales, protegiendo así el entorno de crecimiento de las plántulas de cultivo de tejidos. Limpieza horizontal, protegiendo las operaciones estérilesAlgunos procesos de cultivo de tejidos vegetales requieren una mesa de trabajo altamente limpia para garantizar la esterilidad. La mesa de flujo laminar horizontal KLC proporciona un flujo de aire limpio y horizontal, garantizando la pureza del aire en el área de trabajo. Esto proporciona un entorno de trabajo estéril para operaciones como la inoculación y el cultivo de plántulas de caucho. Cobertura de flujo laminar, garantizando con precisión el espacio estérilEl cultivo de tejidos vegetales requiere una limpieza extremadamente alta en áreas de operación localizadas, especialmente en operaciones experimentales de alta precisión. Las campanas de flujo laminar KLC, gracias a su preciso diseño de flujo laminar, proporcionan un ambiente de aire altamente limpio para áreas específicas.Sus patrones de flujo laminar, tanto verticales como horizontales, eliminan eficazmente los contaminantes de áreas localizadas, garantizando condiciones estériles en zonas operativas críticas. Ya sea para inoculación, cultivo u otras operaciones delicadas, las campanas de flujo laminar KLC garantizan una limpieza precisa para el crecimiento de cultivos de tejidos, facilitando el desarrollo fluido de los procedimientos experimentales. Soluciones de purificación de aire de KLC Proporciona aire limpio de alta calidad para la tecnología de cultivo de tejidos vegetales y ofrece un sólido apoyo al desarrollo de la tecnología agrícola moderna. KLC se compromete a proporcionar soluciones personalizadas de purificación de aire para laboratorios de cultivo de tejidos, instituciones de investigación y empresas agrícolas, contribuyendo así al avance de la tecnología de cultivo de tejidos.
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