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El sistema de filtración de la sala limpia de semiconductores es un equipo clave para mantener el ambiente interno del taller limpio y libre de polvo. Para garantizar el funcionamiento eficaz del sistema de filtración y alargar su vida útil es necesario tomar una serie de medidas de mantenimiento y cuidado.

Limpie el filtro con regularidad: el filtro de la sala limpia de semiconductores es el componente principal para garantizar la limpieza del aire. Por lo tanto, el filtro debe limpiarse o reemplazarse periódicamente para evitar que el polvo y las partículas obstruyan el material del filtro y afecten su efecto filtrante. Al limpiar el filtro, se deben utilizar agentes y herramientas de limpieza especiales para evitar daños al material del filtro.

Compruebe periódicamente el sistema de escape:

El estado operativo del sistema de escape afecta directamente a la calidad del aire en la sala limpia. El sistema de escape debe revisarse periódicamente para garantizar su funcionamiento normal y una ventilación fluida. El contenido de la inspección incluye componentes como ventiladores, conductos de aire y puertos de escape. Si se encuentran daños o fallas, deben repararse o reemplazarse a tiempo.

Monitorear la calidad del aire:

Al instalar equipos de monitoreo de la calidad del aire, la calidad del aire en la sala limpia de semiconductores se puede monitorear en tiempo real, se pueden descubrir problemas de calidad del aire a tiempo y se pueden tomar las medidas correspondientes. Por ejemplo, cuando la concentración de partículas en el aire excede el valor establecido, se puede iniciar el filtro de espera o aumentar el número de limpiezas para reducir la concentración de partículas.

Reemplace periódicamente los consumibles y accesorios:

Los consumibles y accesorios en las salas blancas de semiconductores, como gorros y guantes quirúrgicos, deben reemplazarse periódicamente para garantizar su limpieza y efecto filtrante. Al reemplazar consumibles y accesorios, debe prestar atención a seleccionar productos que cumplan con los requisitos y reemplazarlos de acuerdo con los procedimientos operativos prescritos.

Operadores de trenes:

Los operadores de salas limpias de semiconductores deben recibir capacitación sistemática para comprender los principios, los métodos de operación y mantenimiento del sistema de filtración y mejorar sus habilidades operativas y su conciencia de seguridad. A través de la capacitación, los operadores pueden comprender mejor el estado operativo del sistema de filtración y encontrar y resolver problemas de manera oportuna.

Desarrollar un plan de mantenimiento:

De acuerdo con la situación real de la sala limpia de semiconductores, desarrolle un plan de mantenimiento detallado para el sistema de filtración, incluido el ciclo de limpieza, el ciclo de inspección, el ciclo de reemplazo, etc. El mantenimiento de acuerdo con el plan puede garantizar el funcionamiento estable a largo plazo y el efecto de filtrado de el sistema de filtración.

Registros y bitácoras de mantenimiento:

Establezca registros de mantenimiento y registros de mantenimiento para el sistema de filtración, y registre el tiempo, el contenido, el personal y otra información de cada mantenimiento. Al analizar los registros de mantenimiento y los registros de mantenimiento, puede comprender el estado operativo y los problemas existentes del sistema de filtración, y proporcionar una referencia para el mantenimiento y la mejora posteriores.

En resumen, el mantenimiento eficaz del sistema de filtración de la sala limpia de semiconductores requiere una consideración integral de múltiples aspectos, incluida la limpieza, inspección, monitoreo, reemplazo, capacitación, planificación y mantenimiento de registros. A través de medidas de mantenimiento integrales, se puede garantizar el funcionamiento estable a largo plazo y el efecto de filtración del sistema de filtración, asegurando así la calidad del aire y la limpieza en la sala limpia.