Normas para salas blancas para talleres de fabricación de chips en la industria de semiconductores
Normas para salas blancas para talleres de fabricación de chips en la industria de semiconductores
June 06, 2024
1. Estándares de calidad para salas limpias
Los grados de las salas blancas generalmente se dividen según la cantidad y el tamaño de las partículas permitidas en el aire. A nivel internacional, la norma ISO 14644 se suele utilizar para la clasificación de grados. Según esta norma, los grados de las salas blancas son de mayor a menor: ISO 1-9.
Cabe señalar que los estándares de las salas blancas pueden variar según la industria y la aplicación específicas. En la producción de chips semiconductores, los estándares de las salas blancas suelen ser más estrictos para garantizar que la calidad y el rendimiento de los chips producidos cumplan con las expectativas.
Los niveles de sala blanca se pueden dividir en: Clase 1 > Clase 10 > Clase 100 > Clase 1000 > Clase 10000 > Clase 100000 > Clase 300000.
Las salas blancas de clase 1 se utilizan principalmente en la industria microelectrónica para la fabricación de circuitos integrados, y los requisitos de precisión para los circuitos integrados son submicrónicos.
Las salas blancas de clase 10 se utilizan principalmente en la industria de semiconductores con un ancho de banda inferior a 2 micras.
La limpieza Clase 100 es ampliamente aplicable y puede satisfacer las necesidades de limpieza de la mayoría de las industrias. Puede utilizarse para tecnología de fabricación aséptica en la industria farmacéutica. Esta sala blanca se puede utilizar para cirugía para la fabricación de trasplantes e integradores, así como para el tratamiento de aislamiento de pacientes especialmente sensibles a infecciones bacterianas.
Las salas blancas de clase 1000 se utilizan principalmente para la producción de productos ópticos finos y también para pruebas, montaje de giroscopios de aviones, montaje de microcojinetes finos, etc.
Las salas blancas clase 10000 se pueden utilizar para el montaje de equipos hidráulicos o neumáticos y, en algunos casos, también se utilizan en la industria de alimentos y bebidas. Además, las salas blancas Clase 10000 también se utilizan ampliamente en la industria médica.
La concentración de partículas permitida de 0,5 um en una sala limpia Clase 1000 es inferior a 35200 (pc/m3), y la concentración de partículas permitida de 5 um es inferior a 293 (pc/m3). 2. La concentración de partículas permitida de 0,5 um en una sala limpia Clase 10.000 es inferior a 352 000 (pc/m3), y la concentración de partículas permitida de 5 um es inferior a 2930 (pc/m3).
Consideraciones de seguridad
La decoración de salas blancas de semiconductores debe cumplir con requisitos de seguridad. En términos generales, hay una gran cantidad de sustancias inflamables y explosivas en las salas blancas de semiconductores, por lo que durante la decoración se deben seguir las normas de seguridad nacionales pertinentes, como la prevención de incendios y la prevención de explosiones. Además, también se debe considerar la contaminación ambiental y la salud y seguridad del personal para garantizar que los materiales de decoración cumplan con los estándares nacionales y no causen daños a la salud humana.
Sistema de tratamiento de aire para salas blancas.
Las salas blancas de semiconductores requieren sistemas de tratamiento de aire para garantizar la limpieza del aire en el taller. El sistema de tratamiento de aire se compone principalmente de filtros de aire, sistemas de suministro de aire, sistemas de aire de retorno y sistemas de escape. Entre ellos, los filtros de aire son un componente importante que puede eliminar eficazmente las partículas y los microorganismos del aire.
Decoración de suelos, paredes y techos.
En la decoración de salas blancas de semiconductores, la decoración de suelos, paredes y techos es muy importante porque estas zonas son susceptibles a la contaminación. El piso debe estar fabricado con materiales resistentes al desgaste, antiestáticos y fáciles de limpiar, como piso autonivelante epoxi o piso plástico PVC; las paredes y techos deben estar fabricados con materiales resistentes a la corrosión, antiestáticos y fáciles de limpiar, como placas de aluminio, placas de acero inoxidable, muros cortina de vidrio, etc.
Disposición de equipos eléctricos como lámparas y enchufes.
En la decoración de salas blancas de semiconductores, la disposición de las lámparas y los casquillos también es muy importante. Para evitar que contaminantes como polvo y microorganismos entren al taller, estos dispositivos deben instalarse en el techo o por encima de la altura de la pared, y se deben seleccionar materiales antiestáticos y que no desprendan polvo.
Puertas, ventanas, mesas de trabajo limpias y otras instalaciones.
En la decoración de salas blancas de semiconductores, las puertas, ventanas, bancos de trabajo limpios y otras instalaciones también necesitan una consideración especial. Las puertas y ventanas deben estar hechas de materiales con buen rendimiento de sellado y fáciles de limpiar, como puertas y ventanas de acero inoxidable; Los bancos de trabajo limpios deben estar hechos de materiales que no desprendan polvo ni partículas de escoria, que sean resistentes a la corrosión y fáciles de limpiar, como los bancos de trabajo de acero inoxidable.