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Con el rápido desarrollo de la industria electrónica, la industria electrónica tiene requisitos cada vez más estrictos para el medio ambiente y sus proyectos de apoyo. Como parte importante de la fábrica de productos electrónicos, el sistema de aire acondicionado no solo necesita controlar de manera estable la temperatura, la humedad y la limpieza interiores, sino que también debe considerar el consumo de energía del aire acondicionado de purificación. Por lo tanto, las fábricas limpias a gran escala suelen adoptar una solución de sistema MAU+DC+FFU que ahorra más energía.

1. Introducción al sistema MAU+FFU+DCC

MAU: Unidad de aire de reposición caja de aire acondicionado de aire fresco

Principalmente responsable del control de la humedad.

FFU: Unidad de filtro de ventilador Unidad de filtro de ventilador

Principalmente responsable del control de limpieza.

CCD: Serpentín de enfriamiento seco Serpentín seco

Principalmente responsable del control de temperatura.

El sistema de aire acondicionado MAU+FFU+DCC se utiliza principalmente en talleres de limpieza electrónica con altos requisitos de limpieza (nivel mil o superior). En la industria de la microelectrónica (circuito integrado) de China, la industria de la optoelectrónica (TFT-LCD, LCD, LED, etc.) y otras grandes, se utiliza ampliamente en talleres limpios con grandes áreas y alto nivel de limpieza. Tiene las ventajas de un fácil ajuste, un importante ahorro de energía, adaptabilidad a la actualización tecnológica y un gran ahorro de área y espacio no productivos.

El diagrama esquemático del sistema MAU+FFU+DCC es el siguiente:

La caja de aire acondicionado fresco procesa el aire fresco por debajo de la intersección de la línea de relación de calor y humedad y la línea de humedad relativa del 95% de la sala limpia. La unidad de aire fresco no solo necesita eliminar su propia carga húmeda, sino que también debe soportar la carga húmeda generada en la sala limpia para garantizar que la humedad relativa de la sala limpia cumpla con los requisitos. La carga de refrigeración seca que no es suficientemente tratada por la unidad de aire fresco se puede complementar con el serpentín seco ubicado en el entrepiso inferior o en el techo de la sala limpia. Dado que el serpentín seco está ubicado en el techo o pasillo a través del cual pasa el aire circulante FFU, la carga de enfriamiento seco proporcionada por el serpentín seco será llevada a la sala limpia por el aire circulante.

Ventajas del sistema de aire acondicionado limpio MAU+FFU+DCC

(1) Alta flexibilidad y alta tasa de cobertura. La flexibilidad de un sistema de aire acondicionado limpio es muy importante para las fábricas de electrónica. Si es necesario ajustar la limpieza del taller regionalmente debido a cambios en el proceso, la limpieza del área local se puede cambiar cambiando el volumen de aire FFU o reemplazando la placa ciega. Cuando están densamente organizados, la tasa de cobertura puede alcanzar el 85,5%.

(2) El techo superior de la FFU es una presión negativa, que puede desempeñar un papel de sellado. El techo tiene presión negativa y la presión del aire en la sala limpia es mayor que el espacio en el techo. Si hay un espacio entre la FFU y el soporte, la presión negativa en el techo impide que el aire que no ha sido filtrado eficientemente entre a la habitación, lo que es beneficioso para garantizar la limpieza de la sala blanca.

(3) La resistencia del sistema de flujo de aire es pequeña y la velocidad del viento en la salida de aire es baja.

(4)El equipo tiene un bajo consumo energético. Después de adoptar FFU, no es necesario agregar un ventilador de refuerzo. El ventilador se divide en partes y no es necesaria una sala de máquinas exclusiva. Al mismo tiempo, se elimina la resistencia de la tubería de suministro de aire.

Aplicación de taller de limpieza de semiconductores: por ejemplo, el área del edificio es de aproximadamente 6800㎡, de las cuales las áreas limpias de Clase 100 y Clase 1000 son de aproximadamente 3000㎡. El área de producción limpia adopta la forma de aire acondicionado de MAU (unidad de tratamiento de aire fresco) + FFU (unidad de filtro de ventilador) + DCC (serpentín de enfriamiento seco). El aire circulante en el área de producción pasa a través del piso elevado desde el entrepiso técnico inferior al entrepiso técnico superior a través del canal de aire de retorno y el serpentín seco, y luego se envía al área de producción limpia a través de la unidad de filtrado del ventilador. El aire circulante tratado debe garantizar que la sala blanca de la zona correspondiente mantenga el nivel de limpieza y la temperatura uniformes requeridos.

El sistema de aire fresco (MAU) utiliza lavado con agua, enfriamiento y deshumidificación, filtración o calentamiento, humidificación y filtración para complementar el escape del proceso en la sala limpia con aire fresco limpio y mantener una presión positiva. La unidad de aire acondicionado de aire fresco con parámetros fijos de temperatura y humedad consta de una sección de entrada de aire, una sección de filtro primario tipo placa G4 y una sección de filtro de eficiencia media tipo bolsa F9.

Para las FFU, la cantidad de FFU requeridas para cada área se calcula de acuerdo con los requisitos de limpieza y las especificaciones de FFU seleccionadas para el diseño. Como principal equipo de purificación en la sala limpia, puede filtrar eficazmente partículas e impurezas en el aire para garantizar que la calidad del aire en la sala limpia cumpla con los requisitos de producción. Su eficiente función de ducha de aire puede purificar rápidamente el aire y reducir el impacto del polvo, las bacterias, etc. en la calidad del producto.