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Salas blancas de semiconductores (principalmente modelo FFU)

I. Requisitos de limpieza y métodos de control del flujo de aire

Altos requisitos de limpieza local: Procesos como la fotolitografía y el grabado en la fabricación de semiconductores requieren mantener niveles de limpieza de Clase 100 (ISO 5) o incluso superiores alrededor del equipo. La unidad de filtro de ventilador (FFU) puede generar un flujo de aire unidireccional estable (0,25-0,35 m/s) en áreas críticas gracias a su diseño modular, cubriendo directamente la superficie de operación del equipo.

Flexibilidad: La FFU (unidad de filtro de ventilador) permite un ajuste rápido de las áreas limpias locales, adaptándose a actualizaciones de equipos o cambios en la línea de producción sin modificar todo el sistema de suministro de aire.

Gestión de la carga térmica: Los equipos semiconductores generan una cantidad considerable de calor. El suministro de aire descentralizado de la FFU (unidad de filtro de ventilador) optimiza la disipación térmica local, evitando perturbaciones en el flujo de aire causadas por aumentos de temperatura en sistemas de suministro de aire centralizados.

II. Consumo de energía y diferencias de costos

Ventajas del ahorro de energía: La FFU (unidad de filtro de ventilador) utiliza motores DC/EC con una eficiencia que alcanza el 75 % ~ 80 % y admite el ajuste de velocidad a pedido, lo que da como resultado un menor consumo de energía por unidad de flujo de aire en comparación con los sistemas centralizados.

Bajos costos de mantenimiento: El diseño modular simplifica el reemplazo del filtro y la resolución de problemas, reduciendo el tiempo de inactividad.

III. Características de la industria y adaptación tecnológica

Dinámica de procesos: Las frecuentes actualizaciones de las líneas de producción y la iteración de equipos requieren que las salas blancas se adapten rápidamente. Las características modulares de las salas blancas (como la posibilidad de añadir o retirar unidades y ajustar la distribución) son superiores a las de los sistemas fijos.

Control de microcontaminación: Los semiconductores son sensibles a partículas de 0,1 μm. Los filtros ULPA de FFU (eficiencia de filtración ≥99,999 %) pueden proteger específicamente áreas críticas.